日前，2022年度辽宁省科学技术奖名单正式公布，沈阳芯源微电子设备股份有限公司提报的“集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机研发及产业化”项目喜获辽宁省科技进步一等奖。

该项目攻克了晶圆双面颗粒清洗等多项核心技术，成功研制了国内首台应用于集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机，并在多项核心技术方面实现重大创新，填补国内相关领域技术空白。

项目已在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证。产品满足集成电路前道芯片制程生产线的工艺要求，性能稳定，技术已经达到国际先进水平，并获得国内多家 Fab 厂商的批量重复订单，成功实现国产替代。

作为国内一流的半导体设备供应商，芯源微将坚持自主研发，不断深化创新，以时不我待的精神推进科技自立自强，为客户创造价值，成为受社会尊重的世界级企业！