1、宗润福先生，1964年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工业企业电气自动化专业，二级研究员，享受国务院政府特殊津贴。宗润福先生自1988年5月至1993年9月，先后担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部工程师、造价组组长；1993年10月至1995年9月，担任控制工程部副组长；1995年10月至1999年2月，担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部主任；1999年3月至2002年11月，担任中国科学院沈阳自动化研究所科技处处长、室主任；2002年12月至2019年3月，任芯源有限总经理、董事、董事长；自2019年3月至2022年3月，任公司董事长兼总裁。

2、郑广文先生，1966年3月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，技术经济专业。自2008年6月至2020年10月，于沈阳富创精密设备有限公司担任董事长；自2020年10月至今，于沈阳富创精密设备股份有限公司担任董事长；自2015年6月至今，于先进制造担任执行董事；自2006年5月至2019年3月，任芯源有限董事、董事长；2019年3月至2022年3月，任公司董事。

3、胡琨元先生，1972年7月出生，中国国籍，博士研究生学历。2006年5月至2011年12月任中国科学院沈阳自动化研究所副研究员、研究员；2012年1月至今，任中国科学院沈阳自动化研究所科技处副处长、处长；自2019年12月起，相继担任沈阳中科奥维科技股份有限公司、沈阳聚德视频技术有限公司、沈阳新合物业有限责任公司、沈阳中科博微科技股份有限公司董事。2020年5月至2022年3月，担任公司董事。

4、赵庆党先生，1964年4月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，计算机技术与应用专业。自1981年10月至1989年7月，为辽宁省军区司令部战士；1989年8月至1992年2月，为辽宁省建设投资公司职员；1992年3月至1996年6月，担任辽宁省公安厅二级警司；1996年7月至2001年4月，担任辽宁节能公司办公室副主任；2001年5月至今，先后担任科发实业副总经理、党支部书记、董事长兼总经理、执行董事。2016年9月至2019年3月，担任芯源有限董事；2019年3月至2022年3月，担任公司董事。

5、孙华先生，1967年9月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工商管理专业，高级工程师。自1996年5月至2000年9月，担任长江证券投资银行部员工、副总经理；2000年10月至2006年10月，担任华资资产管理有限公司总经理；2006年11月至2017年2月，担任中国科技产业投资管理有限公司总经理；2017年3月至今，担任中国科技产业投资管理有限公司董事长；兼任国科瑞祺物联网创业投资有限公司董事长、国科瑞华创业投资企业负责人、北京国科瑞华战略性新兴产业投资基金执行事务合伙人委派代表、中科贵银（贵州）产业投资基金执行事务合伙人委派代表、深圳市国科瑞华三期股权投资基金合伙企业执行事务合伙人委派代表等。2015年12月至2019年3月，担任芯源有限董事；2019年3月至2022年3月，担任公司董事。

6、陈兴隆先生，1976年8月出生，中国国籍，研究生学历，获博士学位，机械与航空工程专业，高级工程师。2005年10月至2014年1月，于美国应用材料担任资深工程经理；2014年3月至2017年3月，于韩国三星电子公司生产技术研究所担任首席工程师；2017年5月至2018年1月，于SEMESAmericaInc.担任技术创新官；2018年3月至2019年3月，担任芯源有限副总经理、首席技术官；2019年3月至2022年3月，担任公司董事、副总裁、首席技术官。自2021年2月起，担任上海芯源微企业发展有限公司执行董事、法定代表人。

7、朱煜先生，1965年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，博士研究生学历，机械设计及理论专业。1983年8月至2004年9月任教于中国矿业大学，先后任讲师、副教授；2001年7月至2004年9月，于清华大学从事博士后工作；2004年10月至今任清华大学教授；2007年9月至2013年9月任北京七星华创电子股份有限公司独立董事，2016年10月至2019年12月任北方华创科技集团股份有限公司独立董事；现任北京华卓精科科技股份有限公司董事、首席科学家，北京钢研新冶精特科技有限公司董事，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司独立董事、沈阳富创精密设备股份有限公司独立董事；2019年4月至2022年3月，担任公司独立董事。

8、宋雷先生，1968年6月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，金融学专业，高级会计师。1992年8月至1996年8月，担任辽宁资产经营公司经理；1996年9月至2001年1月，担任辽宁省财政厅下属辽宁会计师事务所（辽宁第一资产评估事务所）评估主任、所长；2001年2月至2003年6月，担任北京六合正旭资产评估公司副总经理；2003年7月至2013年9月，担任辽宁中水国地资产评估有限责任公司董事长兼总经理；2013年10月至今，担任北京国融兴华资产评估有限责任公司辽宁分公司负责人；现任辽宁中水工程造价咨询有限公司执行董事兼总经理、中天证券股份有限公司独立董事等；2019年4月至2022年3月，担任公司独立董事。

9、钟宇先生，1970年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，大学本科学历，经济法专业，三级律师。1992年8月至1994年4月东北制药集团沈阳第五制药厂法务；1994年4月至1998年11月，辽宁腾达律师事务所律师；1998年11月至2002年4月，辽宁同文律师事务所律师、合伙人、副主任；2002年4月至今，北京隆安（沈阳）律师事务所律师、高级合伙人、管委会主任。