董博宇先生，1981年7月出生，中国国籍，无境外永久居留权，工学博士，研究员。2016年被授予“首都劳动奖章”、2016年入选北京经济技术开发区“新创工程”、2023年被授予“北京市科学技术进步一等奖”、2024年被评为“国家卓越工程师团队”、2024年被评为“北京市国企楷模·北京榜样”年度十大人物；2025年被评为“北京市劳动模范”。曾任北京北方华创微电子装备有限公司产品总监、事业单元总经理、副总裁。现任北京市第十三届委员会委员、中国电子专用设备工业协会理事长、中国半导体行业协会专家委员会委员、中国电子材料行业协会半导体材料分会理事、北京北方华创微电子装备有限公司董事、执委会副主席、CEO；现任北方华创科技集团股份有限公司董事、执行委员会副主席、高级副总裁；2025年6月至今，担任公司董事长。

李延辉先生，1978年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工商管理硕士，高级会计师。曾任北京七星华创电子股份有限公司财务部部长、财务副总监、财务总监。现任北方华创科技集团股份有限公司执行委员会委员、首席财务官，中国半导体行业协会监事。2025年6月至今，担任公司董事。

邓晓军先生，1986年9月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工学硕士，高级工程师。曾获得“北京市科学技术进步一等奖”等荣誉。2017年10月至2022年11月担任北京北方华创微电子装备有限公司CVD事业单元产品经理、产品总监；2022年11月至2025年4月担任北京北方华创微电子装备有限公司FEP事业单元副总经理；2025年4月至2025年6月担任北京北方华创微电子装备有限公司CEO OFFICE主任；2025年6月至今，担任公司董事、执行委员会主席、核心技术人员。

黄鹤女士，1982年9月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，国际金融专业。自2008年7月至2010年3月，为中天证券投资总部自营研究员；2011年5月至2014年7月，担任沈阳创业投资管理集团投资部长；2014年8月至2016年10月，担任沈阳富创精密设备有限公司经营管理部长；2019年7月至2020年5月，担任辽宁华夏天通科技股份有限公司董事会秘书；2020年6月至今，先后担任辽宁科发实业有限公司总经理助理、副总经理、董事长兼总经理；2024年7月至今，担任公司董事。

王玉宝先生，1989年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，热能与动力工程专业。2012年7月至2022年2月曾任上汽通用（沈阳）北盛汽车有限公司工艺工程师、员工发展、业务伙伴经理、团委书记、总经理助理、业务规划经理；2022年2月加入公司，先后担任公司总裁办公室主任、工会主席、党委办公室主任、总裁助理等职务；2025年6月至今，先后担任公司工会主席、职工代表董事。

潘伟先生，1956年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，工学博士，二级教授，享受国务院政府特殊津贴，曾获日本东京大学Fellow、世界陶瓷科学院院士等殊荣。曾任清华大学教授、博士生导师、清华大学材料科学与工程系（材料学院）系主任、材料学院党委书记、新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室主任等。现任清华大学-丰田公司联合研究中心学术委员会委员、欧洲陶瓷学会国际顾问委员会委员、国际学术期刊《Coatings》主编。2025年6月至今，担任公司独立董事。

李宝玉先生，1963年3月出生，中国国籍，无境外永久居留权，双学士学位，高级会计师、中国注册会计师，中国注册会计师协会资深会员。1986年8月至1992年12月任沈阳飞机制造公司工学院企业管理教研室讲师；1993年1月至1994年12月任东北国际投资有限公司项目经理；1995年1月至1998年12月任辽宁省财政厅会计师事务所项目经理；1999年1月至2007年12月任辽宁天健会计师事务所高级经理；2008年1月至2009年12月任万隆亚洲会计师事务所辽宁分所副所长、所长；2010年1月至2013年5月任国富浩华会计师事务所合伙人、辽宁分所所长；2013年6月至2016年6月任沈阳桃李面包股份有限公司独立董事；2013年6月至2019年12月任瑞华会计师事务所辽宁分所合伙人、瑞华会计师事务所IPO内核小组成员；2019年12月至2023年12月任中审众环会计师事务所辽宁分所合伙人；2020年6月至2022年4月，任锦州康泰润滑油添加剂股份有限公司独立董事；2020年3月至2025年9月任辽宁东和新材股份有限公司独立董事；2024年6月至今任北京鑫启航管理咨询有限公司法定代表人；2026年2月至今任恒康源绿色产业科技（济南）有限公司董事；2025年6月至今，担任公司独立董事。