邓晓军先生，1986年9月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工学硕士，高级工程师。曾获得“北京市科学技术进步一等奖”等荣誉。2017年10月至2022年11月担任北京北方华创微电子装备有限公司CVD事业单元产品经理、产品总监；2022年11月至2025年4月担任北京北方华创微电子装备有限公司FEP事业单元副总经理；2025年4月至2025年6月担任北京北方华创微电子装备有限公司CEO OFFICE主任；2025年6月至今，担任公司董事、执行委员会主席、核心技术人员。

汪明波女士，1982年生，中国国籍，无境外永久居留权，硕士研究生学历。2008年加入公司，历任沈阳芯源微电子设备股份有限公司高端封装事业部部长，市场发展部总监，光刻事业部总经理；2021年4月至2025年6月，担任公司副总裁；2024年1月至今，担任沈阳芯俐微电子设备有限公司法定代表人、经理；2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁。

程虎先生，1988年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，机械工程及自动化专业，高级工程师，曾荣获辽宁省科学技术一等奖、辽宁省科学技术二等奖、第六届全国专业技术人才先进集体奖、辽宁省五一劳动奖章等奖项。2012年6月至2022年5月，历任公司机械工程师、部长助理、产品设计部副部长、前道事业部常务副总经理、研发中心主任、高产能涂胶显影设备突击队主任；2022年5月至2023年5月，担任公司前道设计部总监；2023年6月至2025年6月，担任公司副总裁；2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁、核心技术人员。

赵乃霞女士，1968年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，微特电机及控制电器专业，正高级工程师，曾荣获辽宁省科学技术进步奖一等奖、辽宁省优秀新产品二等奖，第六届全国专业技术人才先进集体奖等荣誉。2005年11月加入公司，先后担任公司电控工程师、控制系统部副部长、前道事业部副总经理、控制系统部部长、核心技术人员、控制系统部总监、副总裁；2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁、核心技术人员。

张新超先生，1981年出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，高级会计师、注册会计师、FCCA。2004年起至2020年12月，先后任职于东软集团、东软熙康、沈阳机床、神州高铁、美行科技，历任财务经理、财务部长、财务总监等职；2021年1月至2025年6月，担任沈阳芯源微电子设备股份有限公司计划财务部部长、财务总监。2025年6月至今，担任公司执行委员会委员、副总裁、财务总监。