产品优势：
1. 旋流式锥形雾化可均匀覆盖高深宽比台阶的边缘和底部
2. 旋转加热式承片台有效节省光刻胶
3. 承片台静态喷涂规避轻薄衬底碎片风险
4. 喷嘴具备内外自动清洗功能
