产品优势:
1.利用位置、速度可控的摆臂喷洒化学液,可以有效的提高刻蚀均匀性
2.分层式反应腔体设计,可以在同一腔体中喷洒多种化学液,并能有效回收,节约化学液
3.叠层控制,占地面积小,最多可配置4个刻蚀单元