晶圆尺寸： 300±0.6mm，297±0.6mm ，12寸 Frame Ring（Optional）
晶圆种类： Glass + Si，Glass + Molding ，Frame Ring （Optional）
激光波长： 355nm （according to customer needs）
清洗液温度： 30 ~ 80 ℃
清洗液压力 ： 2 ~ 18 Mpa
产品优势：
支持产能 12 片/小时
支持工厂自动化
可根据客户需求灵活配置不同波长的光路系统
平顶化激光光斑，能量分布更均匀
精确的药液温度、压力、流量控制
配置药液回收功能，最大限度为客户节约工艺成本
